反應(yīng)離子刻蝕機(jī)是一種用于信息科學(xué)與系統(tǒng)科學(xué)、材料科學(xué)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器，它利用射頻電源在上下電極間產(chǎn)生輝光放電，使反應(yīng)氣體分子被電離生成等離子體，然后通過(guò)化學(xué)和物理反應(yīng)來(lái)移除襯底表面的材料。
反應(yīng)離子刻蝕機(jī)具有以下特點(diǎn)：
反應(yīng)離子刻蝕機(jī)在微納加工領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用，如制備微型傳感器、微型馬達(dá)、微型光學(xué)器件等。它可以實(shí)現(xiàn)高度各向異性的刻蝕，即沿垂直方向刻蝕速率遠(yuǎn)大于沿水平方向刻蝕速率，從而保證了圖形的精確轉(zhuǎn)移和高方面比。
